光学扫描式成像测量机轮廓仪,以光学成像测量系统为基础,配合高精度运动机构和花岗岩龙门式底座,实现了测量精度、速度、稳定的**结合;结合高精度图像分析算法,并融入闪测原理,在测量范围内,任意摆放工件位置、方向、角度,仪器都可自动定位测量对象、匹配模板、测量评价、报表生成,真正实现快速精准测量。
每日彩票安全购彩SuperViewW系列3d轮廓一键测量仪也叫白光干涉仪是目前三维形貌测量领域高精度的检测仪器之一。在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域,除了白光干涉仪,其它仪器达不到检测的精度要求。
每日彩票安全购彩SuperViewW1非接触3d光学轮廓仪器的X/Y方向标准行程为140*100mm,满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。
SuperViewW3大尺寸微观形貌仪白光干涉测量各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、高校科研院所等领域中。
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